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MPI ハイパワー・マニュアル・プローバー

MPI ハイパワー・マニュアル・プローバー

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MPIハイパワーデバイス特性評価用プローバーはオンウェハーにてハイパワーデバイスを測定するために設計されております。MPI TS150-HP(150mm)およびTS200-HP(200mm)マニュアル・プローバーはオンウェハーでハイパワー測定を可能とするパッケージとなっております。パワー半導体を広い温度範囲において非常に低い接触抵抗にて測定することが可能です。

特長と利点

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エア・ベアリング ステージ

MPI独自のエア・ベアリング・ステージにより片手で簡単にウェハーのXYポジショニングおよびローディングを可能にしました。またXY/Θマイクロメータ (25x25mm)を搭載することによりさらなる微調整が可能です。

アンビエントチャック| コールドチャック| サーマルチャック| 温度チャック| ホットチャック| 同軸チャック| 3kV 3軸アンビエントチャック

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10kV同軸、3kVトライアキシャル 常温チャック

チャックのラインアップとして、MPIの常温 チャック (同軸10kV、トライアキシャル3kV)もしくはERS社製 温度チャック (~300°C)があります。 温度チャック用コントローラは簡単に操作できるようプローバー本体に搭載されております。

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高電圧/大電流プローブ

ハイパワー測定ソリューションとして、高電圧プローブや、MPI独自の接触抵抗の低いマルチコンタクト・チップ技術を使用した大電流プローブをご用意しております。MPIの高電圧プローブは3kV(トライアキシャル)、5kV/10kV(同軸)までの高電圧セットアップにおいても低リーク電流測定が可能です。

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安全かつ高精度

標準のマニュアル機は安全対策用インターロック、EMIシールド付きの暗箱にプローバーが設置されており、低ノイズ、高精度、安全な測定環境を提供します。

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計測器とのインテグレーション

TS150-HP / TS200-HPはさまざまな計測器との接続を想定したパッケージ製品です。キーサイト製B1505(3kV/10kV)やケースレー2600-PCT-XB各計測器との最適な接続に必要な高電圧・大電流プローブ、ケーブル、アクセサリ、8020ハイパワー・インタフェース・パネルなどが含まれています。

バイアス用チャック・トップトレーオプションはフロリナートを入れるために用意されており、TS150-HPのどのチャックにも簡単につけられます。アーキング対策として安価なソリューションとしてお使いいただけます。

*フロリナートは米国3M社の登録商標です。
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