MPI ハイパワー・プローバー

10 kV - 600 A

MPI ハイパワー デバイス特性評価用プローバーはオンウェハーでハイパワーデバイスを測定するために設計されたプローバーです。MPIのハイパワー・プローバーは3kV(トライアキシャル)、10kV(同軸)、600A(パルス)までのハイパワーデバイスを低雑音で完全なシールド環境下において測定することが可能です。

ハイパワーデバイス特性評価 プローバーソリューション

MPIのハイパワー・プローバーは マニュアル 〜へ オート プローバーまで、さまざまなご要求仕様やご予算に合わせて用意されています。

マニュアル・ハイパワー・プローバー は高性能なハイパワーデバイス特性評価の必要性はあるが、それほど測定量が多くない大学や研究機関において低コストにてご導入いただける機種です。最先端研究をサポートできる、ハイパワー計測器との接続が考えられた設計になっており、3kV(トライアキシャル)、10kV(同軸)、600A(パルス)までのハイパワーデバイスの安全で高性能な測定を実現します。

オート・ハイパワー・プローバー はMPIの SENTIO® プローバー制御用ソフトウェアを使い、測定のオートメーション化を可能とし、非常に高いスループットを実現します。

TS2000-DPは、300°Cまでのハイパワーデバイスの測定を可能とし、広いプラテン設計により将来的なアップグレードをお考えのお客様に10kV以上の仕様にアップグレードが可能です。

TS2000-HP はMPI独自のShielDEnvironment™チャンバー付機種です。-60℃~300℃までの広い温度範囲の測定が可能です。 TS2000-SE をもとに設計されており、ウェハーローディング機能、高温ウェハースワップ機能、シールド機能が追加されることによりスループットがさらに向上します。

高電圧、高電流、超高出力プローブ

MPIハイパワープロービングソリューションには、接触抵抗を低減するためにMPIの適切なマルチコンタクトチップを使用する専用の高電圧および高電流プローブが含まれています。 MPIの高電圧プローブは、3 kV 3軸または5 kV&10 kV同軸セットアップまでの高電圧テスト中に漏れ電流の測定が可能です。 さらに、MPI Ultra-High-Powerプローブは、10kV / 600Aまでの超高出力デバイスのウェーハ測定に対応したソリューションを提供します。

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MPI独自のトライアキシャル・チャック接続

MPI独自のトライアキシャル・チャック・コネクタにより、チャック接続を変更することなく超低ノイズ3kV(トライアキシャル)、10kV(同軸)のテストセットアップを変更することが可能です。

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ハイパワー・チャック

MPIの常温チャックおよびERS AirCool® 温度 チャック は接触抵抗が低い金メッキ・チャックを採用し、-60℃~300℃までの幅広い温度範囲をサポートします。チャックはプローバーと完全に統合されており、70μmまでの薄いウェハーを搭載することが可能です。Taikoウェハーも搭載可能です。

安全対策

MPIハイパワー・プローバーは安全基準にそった安全対策をほどこしており、インターロック付の暗箱もしくはレーザーライトカーテンによって安全な測定環境を提供します。

MPI ハイパワー・プローバー機種一覧



マニュアル150/200 mm
オート 150 / 200 mm
TS150-HP
TS200-HP
TS2000-DP
TS2000-HP
常温/温度チャック
3kV トライアキシャル/
10kV同軸
3kV トライアキシャル/
10kV同軸
3kV トライアキシャル/
10kV同軸
3kV トライアキシャル/
10kV同軸
温度範囲
20~300°C
20~300°C
20~300°C
-60~300°C
最大電流
600A(パルス)
TAIKOウェハー対応
安全対策/インターロック
暗箱
暗箱
暗箱
ShielDEnvironment™
ライトカーテン
アーキング防止プローブ・カード
アーキング防止LiquidTray™
ArcShield™
ウェハー・ローダー
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●推奨 ○可

MPI ハイパワー・プローバー

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