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TS2500-RF 市場初のRF測定専用フルオート・プローバー

TS2500-RF 市場初のRF測定専用フルオート・プローバー

TS2500-RF | 自動プローブシステム| 自動プローブステーション| ウェーハプローブステーション| 300mm自動プローブステーション

MPIは過去2年間に12台以上の新製品を送り出すなど対象市場においてイノベーション・リーダーとなりました。

番最新の製品リリースがRFプロダクション・テスト用のフルオート・プローバーです。MPIのさまざまなシステム・アクセサリに対応すると共に製造工程にて高性能な RF 測定を可能にしました。

特長と利点

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薄ウェハーハンドリング

TS2500-RFの独自なチャック及びリフト・ピンによりⅢ‐Ⅴ族の化合物ウェハーの課題でもある50μmまでの薄ウェハーを安全にハンドリングすることが可能です。

RFチャックに加え校正基板やクリーニング用基板を載せるためのXNUMX台のセラミック材質の補助チャックが搭載され、高精度なRFキャリブレーションを実現できます。温度チャックも用意しております。

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高いスループット

デュアル・エンドエフェクタおよびデュアル・ウェハー・カセットの採用により150/200mmウェハーの高速交換を実現します。TS2500-RFは、最速毎秒10ダイ(システム構成により異なります)測定が可能で、製造工程におけるディスクリートRFデバイスおよびICの電気特性試験における最適なプローバーになります。

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高性能アライメント

TS2500-RFフルオート・プローバーはチャックに搭載されているアッパールッキングカメラにより高精度なアライメントが可能になり、複雑なRF測定を可能となります。 MPIのPhotonics Automation部門 のこれまでの経験により確かな結果が保証されます。

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完全なテストソリューション

TS2500-RFはMPIの ポジショナ, RFケーブル, 校正基板TITAN™RFプローブ と組み合わせてお使いいただくことができ、高精度なRF測定が可能となります。

DUTと計測器をもっとも近くなるよう設計するとともに、MPIは Rohde & Schwarz社と協力し、新しい校正手法を開発し、VNAとのインテグレーションをさらに完全にしました。TS2500-RFは製造工程における複雑なRF測定を実現します。

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