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MPI TS3000-SiPH オート・プローバー

MPI TS3000-SiPH オート・プローバー

TS3000-SiPH自動プローブステーション

MPIのTS3000-SiPH 300mm オート・プローバーはシリコンフォトニクス・デバイス特性評価測定に特化した製品です。

TS3000-SiPH 主な特長:

  • 高精度ファイバー・アライメント機能はシングル/デュアルポジショナのセットアップ、シングルモード光ファイバー、ファイバーアレーに対応
  • ウェハーとファイバーの近接検知機能によりファイバー破損を防ぎ安全なオペレーションを実現
  • 推奨温度範囲: - 40℃~100℃ プローバー動作温度範囲: -60℃~300℃
  • シリコンフォトニクスに必要な機器をプローバー上の専用トレーに設置することにより設置スペースを最小限に抑えることが可能

特長と利点

シリコンフォトニクス・ ファイバーアライメント機構

TS3000-SiPHオート・プローバーはシリコンフォトニクスの測定に必要なポジショナ機器やソフトウェアと簡単に組合せることが可能です。またプラテンからチャックの距離を短く設計することにより、ファイバー用アームも短くなり、高い安定性を実現、測定ノイズを低減できます。シングル・ファイバ、マルチ・ファイバー・アレーに対応しており、光入力/出力まで数ミクロンのコンタクト距離を可能にする自動Zセンシング機能を搭載しております。

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Probe Hover Control™

MPI のPHC™は手動でプローブのウェハーへのコンタクトとセパレーションを容易にします。マイクロメータにより高精度にプローブからウェハー/パッドへのコンタクトを微調整することができます。操作が簡単なため、オペレータによる操作ミスを最小限にして、測定系の変更およびプローブの変更を安全に行えます。

RFキャリブレーション| プローブカードクリーニング| 150 mmウェーハ| 200 mmウェハ| 300 mmウェーハ| ウェーハプロービング

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簡単なウェハーローディング

広い前面ドアと独自のチャック設計によりウェハーのロード・アンロード機能は非常に使いやすく、150、200、300 mmウェハーはもちろんのこと割れウェハーや5mm角のICチップなども測定可能です。

補助チャック2台は手前に位置しており、ロード・アンロードを簡単に行うことができます。ロールアウトタイプの構造と違い、RF測定の際の校正基板のセットや、プローブ・カードのクリーニングといったオートメーションを非常に簡単にします。

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ハードウェア・コントロール・パネル

ハードウェア・コントロール・パネルはMPI社の何十年ものプロービング経験、お客様よりのフィードバックにより改良が重ねられ、より早く、より安全にかつ簡単にプローバーを制御できるようコントロール系統が集約されております。 キーボードとマウスはソフトウェアを必要な時に操作するためとWindows® ベースの測定器の操作に使用します。

300mmウェーハチャック| サーマルチャック| アンビエントチャック| ウェーハチャック| ホットチャック| コールドチャック| RFチャック

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温度チャック

チラーのプローバーとの統合によりTS3000シリーズは省スペースな設計となっており、狭い実験室などでも使用できます。

MPIとERS社が共同設計した 新しい300 mm温度チャック PRIME™技術 により優れた柔軟性をもち従来の温度チャックに比べ温度が安定するまでの時間が従来の60%まで短くなり、他社と比べてより多くの温度範囲よりお選びいただけます。

PRIME™チャックには温度遷移時間が短い、優れた電気特性、不活性ガス環境、フィールドにてアップグレード可能など選定いただくための多くの利点があります。

温度制御はプローバー前面に統合されているタッチスクリーンにて行い、オペレーターがすぐに測定に反映させることが可能です。

プローブカード| マイクロポジショナー| ウェーハチャック| ウェーハプローブ| ウェーハプロービング| 失敗分析| 設計検証

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ERS社AC3冷却技術を採用

温度チャックはERSが特許を持つERS社AC3 冷却技術を採用しており、ShielDEnvironment™内の空気をパージする際、「使用済」ドライエアを利用することにより他社のプローバーと比較して、ドライ・エアの消費量を30~50%も削減することが可能となりました。

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計測用機器のインテグレーション

シリコンフォトニクス用機器トレイは測定に必要な機器をプローバーに収めることができシームレスなインテグレーションが実現しました。新たに設置場所を設ける必要がなく省スペース設計となっており、またオペレータが操作しやすい位置に設置されております。

違いはソフトウェアから

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制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIオート・プローバーは画期的なマルチ・タッチ式 SENTIO® 制御用ソフトウェア にて制御します。簡単で直感的な操作によりトレーニング時間を大幅に削減し、スクロール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションへの移動は指をスイープするだけで可能です。

RF測定用に別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO® と同じコンセプトを採用しております。

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