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MPI TS2000 オート・プローバー

MPI TS2000 オート・プローバー

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違いを体感してください!

TS2000は半導体テスト市場のニーズに対応すべく設計を改良された セミオート・プローバーです。MPIの他のプローバーのアクセサリとも互換性があり、 故障解析設計検証IC設計WLR評価 MEMS、 ハイパワーデバイス特性評価高周波/ミリ波特性評価 などのアプリケーションのデバイス測定に適しております。

常温、常温/高温モデルがあり、1秒あたり10ダイ(チップ)の測定を可能としており(構成により異なる)、RFディスクリート半導体デバイスの量産試作等の試験に最適な一台となります。

特長と利点

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広いプローブ・プラテン

TS2000シリーズでは使いやすく使用範囲の広いプローブ・プラテンを採用しており、DCポジショナ12台またはRFポジショナ4台まで搭載可能です。

ロードプル・チューナーやラージ・エリア・ポジショナ等を使うRF/ミリ波測定において理想的な測定環境を提供します

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簡単なウェハーローディング

広い前面ドアからのウェハーのロード・アンロードは非常に使いやすく、100、150、200 mmウェハーはもちろんのこと割れウェハーや5mm角のICチップなども測定可能です。

補助チャック2台は手前に位置しており、ロード・アンロードを簡単に行うことができます。ロールアウトタイプの構造と違い、RF測定の際の校正基板のセットや、プローブ・カードのクリーニングといったオートメーションを非常に簡単にします。

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ハードウェア・コントロール・パネル

ハードウェア・コントロール・パネルにはMPI社のもつ何十年ものプロービング経験、お客様よりのフィードバックにより改良が重ねられ、より早く、より安全に、より簡単にプローバーを制御できるようコントロール系統が集約されております。キーボードとマウスは必要に応じてソフトウェアの操作に使用し、Windows®ベースの測定器の操作にも使用します。ウェハーチャックおよび補助チャック用真空コントロールパネルはロード/アンロードの際に簡単に行えるよう右手前に配置されております。

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温度チャック

温度チャックは下限20℃もしくは室温~最大300℃まで測定できるよう設計されております。内蔵されたタッチスクリーンにより操作が可能で、こちらも装置手前に配置され非常に使い勝手がよくなっております。

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プローブカードおよびポジショナを同時に

多くのシングルプローブ、4.5 "x 11"プローブカード用ロープロファイルプローブカードホルダー、チャック間距離の低いプレートは、アクティブプローブによる同時プロービングに最適であり、 設計検証故障解析 などの測定で、プラテンとチャックの距離が短いので、特に低温でパッシブ/アクティブ・プローブを同時に使う測定の場合にTS3000は理想的なシステムといえます。

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一体型暗箱

TS2000-DはTS2000シリーズの暗箱搭載版になります。

省スペースでインターロック内蔵、さまざまな測定器に対応したインタフェース・パネルは遮光環境やレーザーの使用を必要とする測定に安全な測定環境を提供します。

背面パネルからのアクセスが可能で、測定条件の変更が必要なときに容易に素早くセットアップが可能です。

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計測器とのインテグレーション

オプションの測定器用トレーを設置することによりケーブル長を短くし、 高周波/ミリ波特性評価 をより確実なものにします。

防振機構

TS2000は、振動対策としてXNUMX種類の防振機構を組み込むことにより、さまざまな測定環境にも対応できます。別で購入する防振台に比べて設置スペースを非常に小さくすることが可能となりました。

違いはソフトウェアから

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制御用ソフトウェアSENTIO®

MPIオート・プローバーは画期的なマルチ・タッチ式 SENTIO® 制御用ソフトウェア にて制御します。簡単で直感的な操作によりトレーニング時間を大幅に削減し、スクロール、ズーム、ムーブコマンドはスマートフォンの操作と似ているため誰でもすぐに操作できるようになります。現在使用中のアプリケーションから他のアプリケーションへの移動は指をスイープするだけで可能です。

RF測定用に別のソフトウェアを起動することなく、MPIのRF校正用ソフトウェアQAibria® と完全に統合されており、操作性もSENTIO® と同じコンセプトを採用しております。

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